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    金刚石为什么是激光器散热材料的“天花板”???

    时间:2023-07-05浏览次数:3898

    随着高新技术发展,,,,光学、、通信等领域的电子器件趋向小型化、、、集成化和高功率化,,,,激增的热通量给器件散热带来巨大挑战,,,,过高的温度使得电子器件寿命降低和性能失效,,低温升的高效散热方案俨然成为行业内亟需解决的难题。。。

     

    金刚石具有优异的导热性(室温下为Cu的5倍)和最低的热膨胀系数,,其热导率可高达2200 W/(m·K),,是常用激光晶体YAG的140多倍,,比同处于第四族的单晶硅也高出近13倍。。金刚石内部碳原子的高原子密度和强键合特性,,,,结合高度对称的晶格结构,,使其具有高拉曼增益。。极高的热稳定性也使得金刚石能够在高温、、高强度的严苛工作条件下呈现优异的性能,,,在极大程度上克服了传统激光器存在的热效应、、以及波长和输出功率难以兼顾的难题。。

     

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    图1 金刚石和各种导热材料的热性能

     

    1.金刚石作为芯片封装材料-过渡热沉

     

    高功率半导体激光器封装对过渡热沉的要求主要有两个方面,,,,低热阻与低热失配。。。。过渡热沉热导率越高越可以有效地降低激光器热阻,,,同时需考虑芯片与热沉的热膨胀系数匹配程度,,,减少热失配,,,进而提高高功率半导体激光器输出特性。。。金刚石作为高功率半导体激光器封装热沉,,,,表现出优异的散热特性:一方面将集中于器件PN结的热量能够均匀迅速的沿热沉表面扩散;另一方面将热量沿热沉垂直方向迅速导出。。。

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    图2 高功率半导体激光器结构示意图

     

    研究表明,,,,采用MPCVD 制备的金刚石薄膜做过渡热沉,,与传统铜热沉相比,,,半导体激光器的光功率输出提升 25%,,,热阻减低 45%以上,,,,散热优势明显。。。

     

    2.金刚石作为激光器窗口片/光学晶体

     

    金刚石具有宽光谱透射性、、、低热膨胀系数、、高机械强度,,高耐热冲击热性,,,低散射,,高激光诱导损伤阈值,,,低吸收,,,,高拉曼增益系数和高导热性等优异特性的结合,,,使其成为低损耗激光腔应用的首选材料,,,,为光学应用(如激光)提供了卓越的优势。。。。

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    图3金刚石晶体透射光谱范围(未镀膜)

     

    金刚石的本征光学性质由其在深紫外的禁带宽度决定,,,其截止波长为 225 nm (5.47 eV);其中在2.5 至 6 μm 间有微弱的吸收,,,,主要由其声子带吸收决定。。此外,,,金刚石的大禁带避免了金刚石晶体在高温下热产生的电荷载流子,,,因此,,即使在非常高的温度和辐射强度下,,,金刚石仍然可以保持高透明度。。。

     

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    图4 基于金刚石不同的性质所报道的不同类型的光学元件

     

    举个例子,,,,CO2激光器是工业上常用的激光器之一,,多领域应用对输出窗口的要求越来越苛刻。。。。目前常用的窗口材料 ZnSe、GaAs会在机械应力以及热应力的作用下,,发生畸变或者破碎,,,导致窗口失效、损坏。。。。高功率输出要求窗口必须具有高透过性、高热导率、热稳定性以及机械强度等综合性能。高质量 CVD 金刚石抗激光( @ 10.6 μm) 损伤峰值能量高达 66 J /cm2,,,峰值功率可达 12.7 MW /mm2,,,同时金刚石在 10.6 μm 有较高的透过率、极高的热导率和优异的机械性能,,,,这使得金刚石几乎能完美地匹配高功率CO2激光器对窗口材料的需求。

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    图5尊龙时凯圆晶级金刚石

     

    3.金刚石异质集成方案用于GaN/ GaAs/Si芯片

     

    基于金刚石与氮化镓结合异质集成,,可以降低氮化镓(GaN)大功率器件的自加热效应,,,,解决在高频、、、大功率情况下GaN基HEMT的散热问题,,,尊龙时凯为国内率先开展金刚石和氮化镓异质集成的厂家,,,目前可提供GaN on diamond 、、、Diamond on GaN,,,,以及金刚石和氮化镓键合所必需的晶圆级金刚石。。

     

    此外,,,,对于激光器领域砷化镓芯片、、、硅基芯片等,,,,晶圆级金刚石用于芯片键合,,,可以解决激光芯片散热率低的问题,,达到高效散热的效果。。。。

     

    尊龙时凯是一家专注于第三代(宽禁带)半导体衬底材料和器件研发和生产的高科技企业。。。。尊龙时凯刚石热沉片热导率高达1000-2200W/(m.k);高性能的光学级多晶金刚石和光学级单晶金刚石,,,,使金刚石出色的光学特性得以发挥,,,,共同满足拉曼激光器、、碟片激光器等不同客户的需求。。。金刚石+激光器还将被应用于更广泛的领域,,尊龙时凯期待与您携手开拓更多应用,,,,一起为激光产业发展、、、、跃上新的台阶贡献力量!!!!

     

     

     


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