在第三代半导体发展得如火如荼之际,,,,氧化镓、、、氮化铝、、、、金刚石等第四代半导体材料也开始受到关注。。。其中,,,,金刚石具备高热导率、、、高击穿电场、、、高载流子迁移率、、、高载流子饱和速率和低介电常数等优异的特性,,而被国际普遍关注并认可是已开启产业化的第四代半导体材料。。。。
金刚石的禁带宽度为5.47 eV,,,金刚石具有许多优异的力学、、、、 电学、、、、 热学、、、、 声学和 光学等性质, 在高技术领域具有十分广阔的应用前 景, 地球上目前还很难找到一种集如此多优异性能于 一身的材料。。。不仅热导率超高,,其电学性质也极其优异:
①极高的击穿电场:高达109Vem-1,,,,是砷化镓材料的17倍,,,氮化镓材料的2倍,,碳化硅材料的2.5倍。。。。
②饱和载流子速度:在饱和载流子速度方面金刚石是硅、、、砷化镓的2.7倍,,,而且载流子速度比砷化镓的峰值还要大,,即在电场强度增加时也可维持其高的速率。。。
③载流子迁移率:金刚石的电子迁移率与空穴迁移率都优于其它半导体材料,,,,室温下电子的迁移率为4500 cm2/V·S,,而硅仅为1500 cm2/V·S,,,,砷化镓为8500 cm2/V·S,,,,氮化镓低于1000 cm2/V·S;金刚石空穴迁移率为3800 cm2/V·S,,而硅仅为600 cm2/V·S,,,,砷化镓为400 cm2/V·S,,,氮化镓为<50 cm2/V·S,,因而,,,金刚石可以制作高频电子器件。。
④低的介电常数:金刚石的介电常数为5.7,,,约为砷化镓的二分之一,,小于InP的一半,,,即在给定的频率下,,金刚石半导体具有优越的容性负载,,,,这为毫米波器件的设计提供了极大的方便。。。。
四种半导体材料的基本性质对比
金刚石在高功率、、高频、、、高温领域等方面发挥重要作用,,,是目前最有发展前途的半导体材料之一,,,,其经典的应用场景为热管理领域。。针对热管理领域,,,,尊龙时凯推出金刚石热沉片、、、、晶圆级金刚石、、金刚石基氮化铝、、金刚石基氮化镓外延片等一系列产品,,,,全方面解决高功率、、、、高频、、、高温领域的散热问题。。。
金刚石在高功率激光器的应用:
高功率半导体激光器工作时由于单颗芯片出光功率大,,,,单位面积产生的热量大,,如果不做好散热技术,,很容易发生芯片死亡,,性能快速下降。。。。热效应影响,,降低了激光器的输出功率、、电光转换效率,,,,甚至减少激光器使用寿命或者导致激光器失效等问题已不容忽视。。。。高功率半导体激光器封装对过渡热沉的要求主要有两个方面,,低热阻与低热失配。。过渡热沉热导率越高越可以有效地降低激光器热阻,,同时需考虑芯片与热沉的热膨胀系数匹配程度,,,,根据需求选择合适的烧结焊料,,,减少热失配,,,,进而提高高功率半导体激光器输出特性。。。。金刚石作为高功率半导体激光器封装热沉,,,表现出优异的散热特性:一方面将集中于器件PN结的热量能够均匀迅速的沿热沉表面扩散;另一方面将热量沿热沉垂直方向迅速导出。。。因此可以应用金刚石膜制作高功率光电子元件的散热器材料。。。。
CO2激光器是工业上常用的激光器之一,,,,在加工、通信、雷达、化学分析、外科手术等领域有着重要应用随着CO2激光器功率的提高,,,,对输出窗口的要求越来越苛刻,,,,目前常用的窗口材料ZnSe、GaAs会在机械应力以及热应力的作用下,,发生畸变或者破碎导致窗口失效、损坏。。。高功率输出要求窗口必须具有高透过性、高热导率、热稳定性以及机械强度等综合性能。高质量 CVD 金刚石抗激光( @10.6 μm) 损伤峰值能量高达66J /cm2,,,峰值功率可达12.7MW /mm2,,同时金刚石在 10.6 μm有较高的透过率、极高的热导率和优异的机械性能,,,这使得金刚石几乎能完美地匹配高功率CO2激光器对窗口材料的需求。据报道,,,美国通用公司将金刚石膜做成大功率激光窗片,,,,可承受高达200kW的CO2激光输出。
金刚石热沉片在超高功率LED的应用:
在Si衬底表面衬底金刚石散热层足以挺高LED散热能力;对于没有金刚石薄膜散热层的结构,,LED的散热是将pn结处产生的热量传递到散热能力较差的介质如封装导热胶及硅基底,,,,水平方向的导热能力比较差,,,,热量集中在LED与介质接触的地方,,属于“点散热”,,增加了金刚石薄膜作为散热层之后,,,,利用金刚石膜的高热导率,,可以将LED的点热源的高密度热迅速扩散通过整个金刚石膜中(水平和竖直方向)从而降低了进入Si基底热流密度,,,大幅度地提高了散热能力,,降低了LED的结温温度。。。。
采用尊龙时凯高品质金刚石热沉片的大功率半导体激光器已经用于光通信,,,在激光二极管、、、功率晶体管、、、、电子封装材料等领域也都有应用。。。尊龙时凯基于晶圆级的金刚石产品能力,,开发出了金刚石基氮化镓外延片,,主要应用在射频(卫星、、5G基站)与高功率器件(光伏、、风力发电、、、新能源车、、、储能)等对热管理需求高的领域,,,,作为碳化硅基氮化镓材料的补充。。。